日本EBARA JITSUGYO:開發(fā)新型無(wú)水銀臭氧監(jiān)測(cè)儀的通知

日本EBARA JITSUGYO開發(fā)了環(huán)保的無(wú)水銀臭氧監(jiān)測(cè)儀。

1.產(chǎn)品名稱

EG-3100系列(面向上下水道設(shè)施的高精度臭氧監(jiān)視器)

EG-690(半導(dǎo)體制造工藝用直排型臭氧監(jiān)視器)

2.概要

日本EBARA JITSUGYO的臭氧監(jiān)測(cè)儀是利用紫外線吸收法精密測(cè)量氣體中和水中臭氧濃度的測(cè)量?jī)x器。

到現(xiàn)在為止一直使用水銀燈作為紫外線的光源。

此次開發(fā)的新型臭氧監(jiān)測(cè)儀是針對(duì)社會(huì)對(duì)環(huán)境的關(guān)注，采用UV-LED光源中采用實(shí)現(xiàn)無(wú)水銀。另外，通過(guò)修正發(fā)光特性的技術(shù)，UV-LED光源很難實(shí)現(xiàn)使被認(rèn)為是詩(shī)的高精度的測(cè)定成為可能。

日本EBARA JITSUGYO作為日本臭氧測(cè)定技術(shù)的先驅(qū)者，對(duì)于臭氧的合理利用是必不可少的。

另外，有預(yù)處理系統(tǒng)和臭氧監(jiān)測(cè)儀，可以根據(jù)不同的條件進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量。

負(fù)責(zé)配套臭氧濃度測(cè)量設(shè)備的開發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、維護(hù)。利用涉及的領(lǐng)域很多，特別是上下水道設(shè)施的高級(jí)處理工藝和半導(dǎo)體工廠的生產(chǎn)工藝中常年采用，擁有日本國(guó)內(nèi)很大的市場(chǎng)占有率。

此次開發(fā)的新產(chǎn)品是根據(jù)社會(huì)對(duì)環(huán)境的關(guān)注，采用UV-LED光源，實(shí)現(xiàn)了無(wú)水銀。另外，通過(guò)修正發(fā)光特性的技術(shù)，UV-LED實(shí)現(xiàn)了光源難以實(shí)現(xiàn)的高精度測(cè)量，使用了傳統(tǒng)的水銀燈具有與臭氧監(jiān)測(cè)同等的精度。

1、高精度臭氧監(jiān)視器:eg -3100系列

·采用UV-LED光源實(shí)現(xiàn)無(wú)水銀化

·發(fā)光修正技術(shù)實(shí)現(xiàn)了與低壓水銀燈產(chǎn)品同等的精度

·囊括凈水過(guò)程臭氧處理中的所有氣體測(cè)量點(diǎn)的生產(chǎn)線

·高精度、高分辨率，可適用于研究和開發(fā)用途

2、輪滑型臭氧監(jiān)視器:eg -690

·采用UV-LED光源實(shí)現(xiàn)無(wú)水銀化

·發(fā)光修正技術(shù)實(shí)現(xiàn)了與低壓水銀燈產(chǎn)品同等的精度

·可在半導(dǎo)體制造工藝的臭氧氣體管道中單排設(shè)置

·適合裝置組裝