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紫外線臭氧分析儀
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半導(dǎo)體高濃度臭氧氣體檢測儀 日本Ebara Jitsugyo EG-610

    品牌:日本EBARA JITSUGYO

    量程:0-10,20,30,40,99.9,200,300,400g / m3

    介紹:通過電池的特殊結(jié)構(gòu)可以測量大體積,高壓的臭氧氣體

    優(yōu)點(diǎn):內(nèi)置式臭氧濃度計,最高支持20L/min

    應(yīng)用:?監(jiān)測臭氧發(fā)生器輸出 ?監(jiān)測處理后的殘余臭氧 ?飲用水處理 ?廢水處理 ?工業(yè)臭氧工藝 ?半導(dǎo)體臭氧工藝

    市場參考價:55000元

  • 產(chǎn)品詳情

注:EG-600已停產(chǎn),現(xiàn)型號為EG-610

    EG-610型OZONE MONITORS(以下稱為顯示器)是配備微處理器的嵌入式顯示器。它們已經(jīng)發(fā)展為用于控制半導(dǎo)體制造過程中的臭氧濃度以及用于控制在同一過程中使用的高濃度臭氧發(fā)生器的傳感器。它由主體(控制單元)和檢測器單元組成,僅通過將管道連接到檢測器單元的兩端即可連續(xù)測量臭氧濃度。使用此監(jiān)視器,可以使用外部信號或前面板上的開關(guān)輕松執(zhí)行零位校準(zhǔn)。除零氣體吸入(采樣氣體吹掃)計時器外,還有另一個內(nèi)置的時間間隔計時器,可以以任意設(shè)置的時間間隔定期執(zhí)行零校準(zhǔn)。即使在關(guān)閉電源時,也會存儲此時獲得的零校準(zhǔn)值,并在下次打開電源時應(yīng)用 很后的零校準(zhǔn)值。自診斷功能監(jiān)視并顯示監(jiān)視器內(nèi)部的異常。由于此監(jiān)視器在檢測器單元內(nèi)部具有內(nèi)置溫度傳感器,因此可以執(zhí)行氣體溫度補(bǔ)償。類似地,由于壓力傳感器內(nèi)置在檢測器單元中,因此氣壓可以自動補(bǔ)償為大氣壓。通過使用可選的串行端口,您可以通過與主機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)通信來獲取更準(zhǔn)確的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。


內(nèi)置式臭氧濃度計, 很高支持20 L/min。這是EG-600的新產(chǎn)品。
 
壓力補(bǔ)償和溫度補(bǔ)償是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備,即使在壓力管線上也可以進(jìn)行準(zhǔn)確的臭氧測量。通過豐富的輸入/輸出信號和通訊軟件支持各種系統(tǒng)。連續(xù)測量公式可實現(xiàn)快速響應(yīng)。
 
名稱:在線臭氧監(jiān)測儀
型號:EG-610
實測流量:0.5至20 L / min
*即使以0.1 L / min或更低的規(guī)定流量也可以進(jìn)行測量,但是臭氧分解和響應(yīng)時間可能會有所延遲。
測量濃度范圍:0至10.0,20.0,30.0,40.0,50.0,100,200,300,400,500,1000,2000,3000g / m 3(N)/ 0至10.0,20.0wt%
*請聯(lián)系我們以獲取其他濃度列出。另外,對于沒有壓力補(bǔ)償?shù)那闆r,為500g / m 3(N)和1000g / m 3(N),濃度范圍為2000g / m 3(N)或更高用于可選的減壓校正。
顯示位數(shù):4位數(shù)字顯示
泵:
*需要樣氣壓力。根據(jù)測量條件,也可以使用外部泵進(jìn)行抽吸。
壓力補(bǔ)償:標(biāo)準(zhǔn):0至0.3 MPa(G)
選件:絕對壓力傳感器500至1961 hPa(abs),減壓傳感器(測量范圍2000 g / m 3(N)或更高時)10至343 hPa(abs)
溫度補(bǔ)償:0℃校正(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備)
外形尺寸:控制單元:72W x 200D x 200H mm
檢測單元:110W x 90D x 160H mm
(不包括突起)
重量:控制單元:1.6千克
檢測單元:1.6千克
接口:1/4英寸管的VCR等效接頭(可更換)
電源:標(biāo)準(zhǔn):AC100-240V±10%,50 / 60Hz
選件:DC24V規(guī)格
能量消耗:25VA
監(jiān)控輸入:自動零定時輸入,光耦合器驅(qū)動
監(jiān)控輸出:溫度報警,測量信號,監(jiān)控錯誤
模擬量輸出:標(biāo)準(zhǔn):DC0至1V / DC0至10V
選件:DC4至20mA絕緣
數(shù)字量輸出:選件:RS-232C,通訊軟件
自我診斷功能:檢測并顯示光源異常,電池臟污和內(nèi)部電路異常
測量方式:紫外線吸收法
制作者:bar原知世株式會社
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